PHOTON AXIS - High-NA EUV、浸没式光刻与纳米压印底层确权
开放 1.1 万个光刻研发精算词条，包含每日更新的先进制程工艺良率审计档案。
支持 50 个终端接入，包含 High-NA 光源 API 实时参数推送与专属定制确权服务。